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淺聊等離子清洗機(jī)的真空腔體保養(yǎng)

更新時間:2023-12-26   點擊次數(shù):1711次
   該設(shè)備在各行各業(yè)已經(jīng)廣泛應(yīng)用,等離子清洗機(jī)設(shè)備原理并不復(fù)雜,但是一套完整的等離子系統(tǒng)包含很多方面。它的原理是兩個電極之間形成高頻交變電場,用真空泵在裝置的密閉容器中實現(xiàn)一定的真空度隨著氣體越來越稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長,區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下,形成等離子體。在真空和瞬時高溫狀態(tài)下,活性等離子對孔壁內(nèi)鉆污、殘膠及油污等污染物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用,污染物部分蒸發(fā)或在高能量離子的沖擊下被擊碎,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過抽真空排出,從而達(dá)到清洗目的。
  
  設(shè)備在使用過程中,合理有效的進(jìn)行設(shè)備維護(hù),能夠減少設(shè)備的故障率,增加設(shè)備的使用壽命,同時能夠保證清洗達(dá)到生產(chǎn)的工藝標(biāo)準(zhǔn)。這在工業(yè)生產(chǎn)制造上,能起到很大的穩(wěn)定作用。

 

  
  等離子清洗機(jī)的真空腔體保養(yǎng):
  等離子腔體清潔時產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級別,會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”,腔底掉落更嚴(yán)重。對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落,用吸塵機(jī)將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭,其次腔體導(dǎo)入N2和O2,用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物,工作10min。
  
  在實際生產(chǎn)中,我們發(fā)現(xiàn)該清洗機(jī)一些重要的部件會隨著使用時間的推移產(chǎn)生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題,會是引起該清洗機(jī)達(dá)不到清洗效果的原因,例如反應(yīng)腔、電極、托板架、氣體的壓力等。
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